FEMAG是一款晶體生長多物理場仿真軟件，擁有晶體生長工藝模擬技術和多物理場耦合仿真分析功能，可模擬各種晶體生長工藝，在半導體芯片、太陽能光伏、化合物半導體和人工晶體、單晶高溫合金等領域具有廣泛的應用。

一、FEMAG軟件優勢

1、模型先進，算法效率高，求解精度高

通過建立先進的、考慮多種耦合效應的傳熱、湍流等全局有限元模型（準穩態模型、逆向動態、直接動態模型），基于非結構化網格而開發的Navier-Stokes求解器，結合Newton-Raphson迭代法，可以準確地求解晶體生長過程中的多尺度復雜問題。

2、爐體設計技術成熟，優化生長過程效率高、方便

可以對復雜的軸對稱/非軸對稱熱場進行全局模擬，提供用以預測復雜系統中物理變量的信息，從而幫助用戶有效預測、控制晶體中的缺陷以及形狀，改善、優化晶體生長爐內全局熱場溫度分布與晶體生長中特有的工藝參數，優化晶體生長的工藝過程與質量，滿足對生產質量高、低成本、高使用壽命晶體的實際需求。

3、具有區熔法生長工藝仿真分析功能

具有豐富、全方面的分析功能，可以用于分析、優化不同的晶體生長工藝過程，有效地全局模擬分析復雜的2D/3D多場耦合問題；具有區熔法生長工藝仿真分析功能的晶體生長數值模擬軟件。

二、產品模塊  

? FEMAG/CZ 提拉法晶體生長仿真模塊

? FEMAG/CZ/OX 化合物提拉/泡生法晶體生長仿真模塊

? FEMAG/FZ 區熔法晶體生長仿真模塊

? FEMAG/DS 定向凝固法晶體生長仿真模塊

? FEMAG/VB VB/VGF法晶體生長仿真模塊

? FEMAG/HEM 熱交換法晶體生長仿真模塊

? FEMAG/PVT 物理氣相傳輸法晶體生長仿真模塊

? FEMAG/TMF 外加磁場功能模塊

三、功能特點

? 爐內溫度分布計算

? 多組加熱器布置、加熱器功率預測

? 溫度控制點設置

? 凝固界面形狀預測與溫度梯度分布計算

? 爐內全局熱通量計算

? 全方面的熔體、氣體流動模型

? 摻雜物濃度分布預測

? 熱應力計算

? 點缺陷與微缺陷濃度預測

? 可與TMF模塊耦合建立多種外加磁場

? 多種求解模式適應不同的計算需求

四、應用領域

? 光學級單晶鍺的生長

? 晶體生長熔爐的設計

? YAG功能晶體的生長

? GaAs、CdTe晶體的生長

? 半導體、集成電路級單晶硅的生長

? 第三代半導體材料SiC晶體的生長

? 太陽能光伏單晶硅、多晶硅錠的生長

? 航空發動機渦輪葉片單晶高溫合金的生長

? 氧化物（藍寶石）、鹵化物等LED光電晶體的生長